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广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安进口分子泵

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分子泵启动的条件:

  ①、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

  ②、启动时间:

  同时启动——小系统,防前级泵油上返。

  延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。





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VARIAN Turbo-V301分子泵维修



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VARIAN Turbo-V前级耐压高达18mbar,***da的优点是可以配更小的前级泵,如 V301 的分子泵只需配 5m3/hr 的 SH-100 的干泵或 DS-102 机械泵作为前级泵既可满足要求。Macro Torr 技术不仅降低了真空系统的成本,也使分子泵的性能更好。



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涡旋式真空泵由涡旋式压缩机演变而来,机构原理zui早由法国人Cruex于1905年发明,涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。



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